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軟薄膜和薄膜用臺(tái)式離線(xiàn)電容式測(cè)厚儀介紹
| 模型 | TOF-C2 *TOF-C 后繼型號(hào) |
|---|---|
| 測(cè)量方法 | 非接觸式/電容式 |
| 測(cè)量目標(biāo) | 薄膜、粘性保護(hù)膜、易吸灰塵的薄膜 |
| 測(cè)量原理 | 電容式 |
高測(cè)量分辨率
由于它是一種非接觸式方法，因此非常適合用接觸式方法難以測(cè)量的薄膜。
即使在粗糙的表面上也可以進(jìn)行測(cè)量。
定量測(cè)量
操作簡(jiǎn)單（具有介電常數(shù)自動(dòng)設(shè)定功能）
| 測(cè)量厚度 | ～500μm |
|---|---|
| 測(cè)量長(zhǎng)度 | 10～10000mm |
| 測(cè)量間距 | 1毫米~ |
| 最小顯示值 | 0.01微米 |
| 電源電壓 | 交流100V 50/60Hz |
| 工作溫度限制 | 5～40℃（測(cè)量時(shí)溫度變化1℃以?xún)?nèi)） |
| 濕度 | 35-80%（無(wú)冷凝） |
